洁净室是指将必定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物扫除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振荡及照明、静电操控在某一需求范围内，而所给予特别规划之房间。亦便是不管外在之空气条件怎么改变，其室内均能俱有保持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等功用之特性。

　　洁净室最主要之作用在于操控产品（如硅芯片等）所触摸之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个杰出之环境空间中出产、制作，此空间咱们叫做洁净室。依照世界惯例，无尘净化等级主要是依据每立方米空气中粒子直径大于区分规范的粒子数量来规则。也便是说所谓无尘并非100%没有一点尘埃，而是操控在一个十分微量的单位上。当然这个规范中契合尘埃规范的颗粒相关于咱们常见的尘埃现已是小的微乎其微，可是关于光学结构而言，哪怕是一点点的尘埃都会发生十分大的负面影响，所以在光学结构产品的出产上，无尘是必定的要求。

　　每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量操控在3500个以下，就达到了世界无尘规范的A级。芯片级出产加工的无尘规范关于尘埃的要求高于A级，这样的高标主要被使用在一些等级较高芯片出产上。0.5uM及以下的微尘数量被严控在每立方英寸1000个以内，这也便是业界俗称的1K等级。

　　空态：现已制作完结并能够投入到正常的运用中的洁净室（设备）。它具有一切有关的服务和功用。可是，在设备内没有操作人员操作的设备。

　　静态：各种功用齐备、设定装置稳当，可依据设定运用或正在运用的洁净室（设备），可是设备内没有操作人员。

　　动态：处于正常运用的洁净室，服务功用完善，有设备和人员；若需求，可从事正常的作业。

　　总结：洁净室（CleanRoom），亦称无尘车间、无尘室或清净室。是指一个具有低污染水平的环境，这儿所指的污染来历有尘埃，空气传达的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更精确地讲，一个净室具有一个受控的污染等级，污染等级可用每立方米的颗粒数，或许用最大颗粒巨细来厘定的。低等级的净室通常是没有通过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关怀空气传达的尘埃。洁净室被广泛地使用在对环境污染很灵敏的职业，作为出产设备，净室能够占有厂房许多方位。

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